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MEMS和纳米技术
ELEC97055
MEMS and Nanotechnology
学习目标
课程内容:
本课程将研究各种微米和纳米尺度装置和系统的基本物理原理、制造方法和应用。重点涵盖了微米和纳米尺度、微机电系统材料和工艺、微机电系统器件和应用、纳米结构中的量子效应、MEMS传感器和致动器、微流体学、纳米电子半导体器件、纳米结构中的量子器件等内容。
学习成果:
成功完成本课程后,学生将能够:
1、解释、估计和比较纳米器件的性能参数及其应用,并概述制造纳米器件技术中的关键工艺参数。
2、利用相关的机械/电子工程原理分析和设计一系列纳米结构器件。
3、利用相关的机械和电气工程原理分析和设计一系列MEMS器件。
4、比较和对比这两种不同应用中使用的制造技术。
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